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無欠陥?配置制御ナノピラー構造により表面濡れ性を自在に制御 --バイオテンプレート極限加工により作製した無欠陥ナノ構造だけで撥水性実現--

【概要】

东北大学产学连携先端材料研究开発センター(惭补厂颁)、材料科学高等研究所(础滨惭搁)および流体科学研究所(滨贵厂)の寒川诚二教授および大堀大介博士研究员らのグループは、独自技术であるバイオテンプレート技术と中性粒子ビーム加工技术を融合して高均一?高密度?无欠陥の直径10ナノメートル(以下、苍尘)サイズの均一で高密度な间隔制御された无欠陥シリコンナノピラー构造を作製することに成功し、その表面状态や间隔?深さを制御することで世界で初めて表面の濡れ性を亲水から拨水まで自在に制御することに成功しました。これは、トップダウン加工注1(ドライエッチング)であるがゆえに材料を问わず配置制御して作製でき、また、究极まで表面の欠陥を抑制できることから、あらゆる材料の表面で亲水性から拨水性まで表面濡れ性を自在に制御できることを初めて示したものです。拨水の研究は、学术的な表面科学の分野だけでなく、建设资材、化粧品、繊维処理、エレクトロニクス、光学机器、ミリ波レーダーシステム、エネルギーデバイスなどの产业分野でも、极めて注目を集めています。今回の成果はあらゆる材料表面での濡れ性を设计することが可能となる新技术になります。本研究成果は2018年10月26日(日本时间)に第65回米国真空学会(础痴厂)国际会议で発表されました。

図1 バイオテンプレートと中性粒子ビームを用いた量子ドット作製技术

【用语解説】

注1)トップダウン加工
トップダウン加工とは、大きな材料を微细な构造に加工していく方式である。トップダウン方式はおもに、构造体を転写するリソグラフィ、「液体を用いた化学反応によるウェットエッチング」や「プラズマやイオンなどによって形状加工するドライエッチング」を用いて加工することである。

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问い合わせ先

<研究に関すること>
寒川 誠二(サムカワ セイジ)
东北大学产学连携先端材料研究开発センター副センター长
东北大学材料科学高等研究所(础滨惭搁)主任研究者
东北大学流体科学研究所未到エネルギー研究センター长
 グリーンナノテクノロジー研究分野 教授
TEL/FAX:022-217-5240
E-mail : samukawa*ifs.tohoku.ac.jp(*を@に置き換えてください)

<报道担当>
东北大学材料科学高等研究所 広报?アウトリーチオフィス
TEL: 022-217-6146
E-mail : aimr-outreach*grp.tohoku.ac.jp(*を@に置き換えてください)