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技术支援赏を受赏した森山雅昭助手

平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。

本赏は、秀でた技术を有し、本事业への多大な贡献が认められた実施担当者に対して授与されるものです。本年度に创设され森山助手が初めての受赏者となりました。

受賞の対象となった技術は、MEMSなどの微小デバイスの製作に欠かすことのできない、「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」であり、この3年間で学内外の600件以上の利用を支援しています。

ナノテクノロジーに関する最先端の研究设备とその活用ノウハウを有する机関が连携して设备の共用体制を构筑し、产学官の多様な利用者による设备の共同利用を推进しています。本学では产学连携推进本部のもとにナノテク融合技术支援センターを设置し、微细构造解析、分子?物质合成、微细加工の3分野における利用を促进しています。

副赏の"ナノテクの匠"バッジ

シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）加工の例

问い合わせ先

事业に関すること
东北大学ナノテク融合技术支援センター

電話 022-217-6037
E-mail cintsoffice*rpip.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてく ださい）

技术に関すること
东北大学マイクロシステム融合研究开発センター

電話 022-229-4113