2011年 | ニュース
半导体洗浄、人体に害无く-东北大が新技术 固体窒素を利用-
东北大学流体科学研究所の石本淳准教授と寒川诚二教授らの研究チームは、半导体素子の製造に欠かせない洗浄行程で有害物质を不要にできる新技术を开発しました。
现在のプラズマ照射と有害な薬剤を使う洗浄の２行程を、固体窒素の微粒子を吹き付ける１行程に置き换えます。
本技术は洗浄プロセスにおけるプラズマ照射による配线ダメージを回避し、特に酸素ラジカルによりダメージを受けやすいデバイスに対して有効で、环境调和型のエコ洗浄技术として注目されています。
问い合わせ先：
流体科学研究所 付属流体融合センター 実事象融合計算研究分野
准教授 石本 淳
TEL：022-217-5271 mail：ishimotojun*ieee.org （*を@に置き換えて下さい）
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