抖阴旅行射

本年の応用物理学会プラズマエレクトロニクス赏に寒川教授の论文が选出されました。本论文は、寒川教授が２００１年に提案したプラズマ照射ダメージをモニタリングするオンウエハモニタリング技术に関し、８インチサイズのシリコン基板上に作製したオンウエハセンサにより実际の量产プラズマエッチング装置での电荷蓄积ダメージ量とその电荷蓄积メカニズムについて详细に议论したものです。

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